MEMS（MEMS）

MEMSとは、Micro Electro Mechanical Systems（微小電気機械システム）で、微細な機械構造と電子回路を組み合わせたマイクロメートル（ミクロン）スケールのシステムのことを指します。MEMS技術を用いれば、機械要素部品やセンサー、アクチュエータ、電子回路を、1つのシリコン基板やガラス基板、有機材料などの上に集積化して形成することが可能です。
こうして作られたMEMSデバイスは、コンパクトでありながら高性能かつ信頼性が高く、低コスト、低消費電力という特徴を備えています。具体的には、加速度センサーやジャイロスコープ、圧力センサー、マイクロミラー、マイクロ流体デバイス、RFスイッチなどが挙げられ、スマートフォンやタブレット、自動車、航空機、医療用機械、産業機械など、非常に多くの分野を支えるデバイスとして利用されています。