流量センサー

流量センサーはMEMS技術を用いたセンサーです。サーマルフロー式により高精度計測が可能です。24bit分解能の⊿ΣADコンバータを搭載し、高精度な流量値をデジタル値で出力します。

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型式一覧

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型式	関連データ	電源電圧範囲 [V]	動作温度範囲 [℃]	動作範囲	精度	インターフェース	パッケージサイズ [mm]
MMS501	製品カタログPDF	2.7 to 3.6	-20 to 80	-250～250[L/m]	±5%RD(10% to 25%FS), ±3%RD(25% to 100%FS)	I2C	73 x 24 x 38

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