超小型・低消費電力のデジタル出力圧力センサー MMR920シリーズ
18万分の1の高分解能！
微小な圧力範囲を測定可能に。
超小型・低消費電力のデジタル出力圧力センサー MMR920シリーズ
ミネベアミツミのデジタル出力圧力センサー
微小な圧力範囲を18万分の1の高分解能*で測定できる、低消費電力のデジタル出力圧力センサーが登場しました。
7mm☐の小型表面実装タイプのパッケージが、お客様の製品のさらなる小型化・高精度化に貢献します。
*高分解能:ノイズを含む実効的な分解能、20 SPS換算
特長
MMR920シリーズは、内部MEMSチップに感度を高める新MEMS構造(特許第7352076号）を採用したほか、24bit⊿ΣADCを搭載し、高い実効分解能で圧力を測定することが可能なセンサーです。また、裏面受圧の新パッケージ構造(特許第7323810号)は、湿気や粉塵などへの環境耐性を向上しています。
特長１：高感度MEMS構造
感度を高める新MEMS構造を採用。ピエゾ素子に応力集中する構造とすることで、従来製品に対し約4.59倍の感度を達成。これにより圧力センサとして、高分解能、低ノイズを実現しています。
特長２：高性能24bit ΔΣADC内蔵AFE
24bit⊿ΣADCを内蔵したAFEで、高速応答と、高分解能（低ノイズ）を両立したセンサーを実現しました。出荷時にセンサーのばらつきや温度特性の補正を行います。複雑なセンサー駆動/制御回路/補正は不要です。
特長３：裏面受圧構造
ノンリード表面実装タイプの小型パッケージでは実現が難しかったMEMSチップ裏面から受圧する構造を特許技術により実現しました。ノズル部からの湿気や異物の侵入に対する耐性を確保しつつ小型化を実現しています。
原理・構成
MEMSチップの薄膜（ダイヤフラム）上に、ピエゾ抵抗が配置されブリッジ回路が形成されています。
空気圧によりダイヤフラムがたわむことで、ピエゾ抵抗に応力が発生し抵抗値が変化。ブリッジ回路に生じた差電圧を計測、圧力として出力します。
1パッケージされたモジュールの中にMEMSセンサーとセンサーの信号を処理するセンサ制御IC（AFE）が内蔵されています。
モジュール内でセンサ固有バラつきおよび温度特性が補正され、圧力値をデジタル(I2C/SPI)で出力します。
用途事例
空調設備、エアコン、換気扇等のフィルター目詰まりに起因する内圧変化や空気配管内の流量計測、電子楽器、アルコールチェッカー、スパイロメーター等、呼気による微小な圧力変化を検知できます。
概略仕様
スクロールできます
| 項目 | 仕様 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 機種名 | MMR920C02A | MMR920C04A | MMR920C07A | MMR920C10A | |
| 動作圧力範囲 | ±20cmH2O （±1.96kPa） |
±40cmH2O （±3.92kPa） |
±70cmH2O （±6.86kPa） |
±100cmH2O （±9.80kPa） |
|
| 最大負荷圧力 | ±200cmH2O（±19.6kPa） | ||||
| 破壊圧力 | ±500cmH2O（±49kPa） | ||||
| 圧力の種類 | ゲージ圧 | ||||
| 圧力の媒体 | 空気（結露無き事） | ||||
| 動作温度範囲 | -40 ～ 85℃ | ||||
| 電源電圧範囲 | 3.0 ～ 3.6V（3.3V typ.） | ||||
| 消費電流 | 0.8mA | ||||
| 変換時間 | 0.4／0.8／1.6／3.2ms | ||||
| FS フルスケール | 20cmH2O | 40cmH2O | 70cmH2O | 100cmH2O | |
| 圧力精度 | Ta=0～50℃ | ±2.0%FS | ±1.0%FS | ||
| スパン精度 | ±1.3%FS | ±0.65%FS | |||
| 直線性 | ±0.44%FS | ±0.22%FS | ±0.4%FS | ±0.4%FS | |
| 分解能 | 0.00001cmH2O | 0.00002cmH2O | |||
| 実効分解能 | 0.019／0.009／0.004／0.002 cmH2ORMS | ||||
| 実効分解能 *50msec換算 |
0.0011 cmH2ORMS (C10ランク±100cmH2Oの場合、圧力レンジ200cmH2Oの18万分の1) |
||||
| インターフェース | SPI／I2C | ||||
| サイズ | 7.0（W）X 7.0（D）X 7.2（H）mm | ||||
評価キット
ARDUINO用のSDK(System Design Kit)を用意しています。MMR920を搭載できるシールド基板とサンプルスケッチを提供します。
別途、ARDUINOをご用意いただき、WindowsPCとUSB接続してご使用ください。
評価キット
（圧力センサー＋シールド基板）
ARDUINO ボード
※お客さまご準備
ARDUINO 社製のボードと組み合わせた例
よくあるご質問
- 防水対応はしていますか？
- 本製品は防水対応はしておりません。必要に応じてお客様のセットで対策をご検討お願いします。
- 使用可能な圧力媒体を教えて下さい。
- 直接使用できる圧力媒体は、空気のみです。水蒸気を含む高湿度の空気の適用はお客様の責任において十分ご評価のうえご判断ください。それ以外の媒体、特に腐食性ガス(有機溶剤系ガス、亜硫酸系ガス、硫化水素系ガスなど)や油分・異物を含む媒体でのご使用は故障・破損の原因となりますの推奨しておりません。
- 取扱い上の注意事項は有りますか？
- 梱包開封後は圧力導入口及び大気圧導入口への異物混入などに注意してお取り扱いください。
- ノズルの長さ違いのラインナップは有りますか？
- 申し訳ありません、現在のところノズルの長さは5mmのみとなります。
- 高度の影響を受けますか？
- 大気圧導入穴から印可される大気圧を基準とするため、高度の影響は受けません。
- 差圧タイプはありますか？
- 微差圧センサMMR940シリーズがございます。
※MMR940シリーズはこちらをご参照ください。
また、MMR920シリーズの差圧タイプPKGも現在開発中です。 - 圧力レンジのカスタマイズは対応可能でしょうか？
- 2kPa～10kPaの範囲でサンプル対応可能です。
正圧/負圧/連成圧、細かいレンジ指定など、ご要望に応じてサンプル作成が可能です。お問い合わせください。
※MMR920シリーズ ランク展開表をご参照ください。