差圧センサー

差圧センサーは、MEMS技術を用いたセンサーです。サーマルフロー式により高精度微小圧力計測が可能です。24bit分解能の⊿ΣADコンバータを搭載し、高精度な圧力値をデジタル値で出力します。

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型式一覧

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型式	関連データ	電源電圧範囲 [V]	動作温度範囲 [℃]	動作範囲	精度	インターフェース	パッケージサイズ [mm]
MMS601	製品カタログPDF	2.7 to 3.6	-20 to 80	-500～500[Pa]、0～250[Pa]、-50～50[Pa]	０点精度：±0.2Pa, スパン精度：±3%RD	I2C	26 x 18 x 24