差圧センサーは、MEMS技術を用いたセンサーです。サーマルフロー式により高精度微小圧力計測が可能です。24bit分解能の⊿ΣADコンバータを搭載し、高精度な圧力値をデジタル値で出力します。
概要
MEMS技術を用いた小型差圧センサ。熱フロー式により高精度微小圧力計測が可能です。24bit分解能の⊿ΣADコンバータを搭載し、高精度な圧力値をデジタル値で出力します。
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空調機器、医療機器(CPAP等)
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MEMS熱フロー式により微小圧力範囲も高精度な計測が可能
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気体の種類 空気(結露無きこと) 電源電圧範囲
[V]2.7~3.6 動作温度範囲
[℃]-20~80 動作範囲 -500~500[Pa]、0~250[Pa]、-50~50[Pa] 消費電流
[μA]T.B.D 精度 0点精度:±0.2Pa, スパン精度:±3%RD 分解能 24bit 変換時間
[ms]5 インターフェース I2C -
26 x 18 x 24
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関連データ