差圧センサーは、MEMS技術を用いたセンサーです。サーマルフロー式により高精度微小圧力計測が可能です。24bit分解能の⊿ΣADコンバータを搭載し、高精度な圧力値をデジタル値で出力します。
概要
MEMS技術を用いた小型差圧センサ。熱フロー式により高精度微小圧力計測が可能です。24bit分解能の⊿ΣADコンバータを搭載し、高精度な圧力値をデジタル値で出力します。
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空調機器、医療機器（CPAP等）
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MEMS熱フロー式により微小圧力範囲も高精度な計測が可能
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気体の種類 空気（結露無きこと） 電源電圧範囲
[V]2.7~3.6 動作温度範囲
[℃]-20~80 動作範囲 -500～500[Pa]、0～250[Pa]、-50～50[Pa] 消費電流
[μA]T.B.D 精度 ０点精度：±0.2Pa, スパン精度：±3%RD 分解能 24bit 変換時間
[ms]5 インターフェース I2C -
26 x 18 x 24
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