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差圧センサー

MEMS技術を用いた小型差圧センサー。
熱フロー式により微小差圧計測が可能です。
24bit分解能のADCコンバーターを搭載し、高精度な差圧をデジタル値で出力します。

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型式	関連データ	電源電圧範囲 [V]	動作温度範囲 [℃]	動作範囲	精度	インターフェース	パッケージサイズ [mm]
MMS601	製品カタログPDF	2.7 to 3.6	-20 to 80	-500～500[Pa]、0～250[Pa]、-50～50[Pa]	０点精度：±0.2Pa, スパン精度：±3%RD	I2C	26 x 18 x 24

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