MEMS技術を用いた小型差圧センサー。
熱フロー式により微小差圧計測が可能です。
24bit分解能のADCコンバーターを搭載し、高精度な差圧をデジタル値で出力します。

概要

MEMS技術を用いた小型差圧センサー。
熱フロー式により微小差圧計測が可能です。
24bit分解能のADCコンバーターを搭載し、
高精度な差圧をデジタル値で出力します。

  • 空調機器、医療機器(CPAP等)

  • 熱フロー式により微小差圧計測が可能。

  • 気体の種類 空気(結露無きこと)
    電源電圧範囲
    [V]
    3.0~3.6
    動作温度範囲
    [℃]
    -20~80
    動作範囲 0 to 500Pa / 0 to 1,000Pa
    消費電流
    [μA]
    T.B.D
    精度 ±3 %R.D. ※TBD、ゼロ点 ±0.5Pa ※TBD
    分解能 24bit
    変換時間
    [ms]
    5
    インターフェース I2C

  • 15.2 x 15.2 x 8.9 ※TBD

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