ゲージ圧センサーは、MEMS技術を用いた圧力センサーICです。MEMSセンサーと⊿ΣADコンバータを組み合わせた製品で、高精度な圧力値をデジタル値で出力します。インターフェースはI2CとSPIがあります。
概要
MMR920シリーズは、MEMSゲージ圧センサとAFE-ICをモジュール化したゲージ圧力センサです。モジュール内で補正された圧力値をデジタルで出力します(I2C/SPI)。MMR920シリーズは、高い精度と堅牢性を必要とする低圧用途に最適です。
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空気圧を利用するデバイス
HVAC/VAV （風量コントロール）
掃除機、冷蔵庫など（吸引力調整）
電子楽器
ガスメータ
アルコールチェッカー
医療機器（酸素濃縮器、スパイロメーター、スマート吸入器 等） -
MMR920では、ダイアフラムの縁部付近と中央部付近を結ぶ梁部を、中央部付近で交わるように配置。さらに、梁部の中央付近に幅広部を、両端付近に幅狭部を設け、幅が徐々に変化する形状としました。
また、ピエゾ抵抗を梁部の縁部側の端部付近、特に幅狭部と重ねて配置することで、ダイアフラムの変形による応力を効率的にピエゾ抵抗に伝え、高い検出感度を実現しました。
加えて、梁部の形状を最適化することで、広い圧力範囲にわたってダイアフラムの歪みを均一化し、出力の直線性を向上させることに成功しました。
① 小型パッケージ 7.0(W) ×7.0(D) ×7.2(H)mm
② 高精度な圧力値を出力可能
圧力精度：±0.5%FS
③ 工場出荷時にセンサのばらつきと温特を補正
④ 圧力値をデジタル出力(SPI / I2C) -
圧力の種類 ゲージ圧 圧力の媒体 空気（結露無きこと） 電源電圧範囲
[V]3.0~3.6 動作温度範囲
[℃]0~50 動作圧力範囲
[kPa]±2 / ±4 / ±7 / ±10 消費電流
[μA]800 圧力精度
[Pa]±20 /±40 /±70 / ±100 実効分解能
[PaRMS]1.8 / 0.9 / 0.4 / 0.2 変換時間
[ms]0.4 / 0.8 / 1.6 / 3.2 インターフェース SPI/I2C
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7.0 x 7.0 x 7.2
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