MEMSの活用

IoTによるスマート化やデジタルトランスフォーメーション（DX）を支える重要パーツといわれるMEMSは、加速度や圧力、温度などを検知するセンサーや、スマートフォンのマイク・スピーカーなどに組み込まれ、機器の性能や利便性の向上、さらに小型化や軽量化などに役立てられています。
近年では、ロボットや医療、農業など、幅広い分野で使用されている機器もMEMSの製品に置き換えられ、従来のセンサーやアクチュエーターでは実現できなかった領域にまで用途を広げています。
ここではMEMSを搭載したセンサーやアクチュエーターの活用事例について解説します。