MEMSセンサー
センサーはデータ収集において、非常に重要な役割を果たしています。ここでは、MEMS半導体技術を用いたセンサーの種類や活用事例を紹介します。
MEMSセンサーとは
センサーとは変化や情報を検出するデバイスで、人間に例えると視覚・聴覚・触覚・味覚・嗅覚といった五感のようなものです。センサーは「光・音・熱・動き・力」などの情報を検知し、その情報を信号に変えて機械の制御や処理を行います。
MEMSセンサーも基本的には従来型のセンサーと同じですが、電子回路と機械要素といった別々の部品を一体化させ、「製品の小型・軽量化と高機能化」を実現しました。例えばスマートフォンの内部には、小型な加速度センサー・圧力センサー・ジャイロセンサーなど、複数のMEMSセンサーを搭載することで高性能・高機能な製品が作られるようになりました。また、MEMSは小型・軽量・高機能といった特徴に加えて生産性にも優れており、多くの製品に採用されています。近年ではMEMSセンサーの技術を応用して、におい検知や遺伝子解析など、さまざまな領域で活用され、さまざまな分野で技術革新をもたらしています。
MEMSセンサーの活用事例
MEMSセンサーが多く使用されている製品にはスマートフォンやゲーム機器、自動車、医療機器などが挙げられます。
MEMSセンサーの活用事例の1つとして、病院や家庭で使用されている血圧計があります。従来の血圧計は、水銀（水銀柱式）やゴム球を用いたアネロイド式が広く使用されていましたが、聴診器で血管音の確認をするには一定の経験・技能が必要でした。しかしMEMS圧力センサーを搭載する電子式血圧計が登場し、誰でも簡単に正確な計測ができるようになり、一般家庭にまで血圧計が普及するきっかけとなりました。
他にも自動車のエンジンやブレーキ、サスペンションなどで圧力センサーが使用され、スマートフォンやゲーム機器には加速度センサーやジャイロセンサー、マイクロフォンなど、複数のMEMSセンサーが使用されています。
MEMSセンサーを活用したデバイスは、生活に豊かさと便利さを与えてくれています。ミネベアミツミは圧力センサーを始め数多くの製品をラインナップしております。