半導体式ガスセンサー
金属酸化物半導体が検知対象ガスと接触した際に生じる抵抗値の変化を、ガス濃度として検知します。ppb低濃度域でも濃度変化が検知でき、長期安定性に優れています。
ガスセンサーとは特定の気体を検出するセンサーのことです。古くは人では気づけない有毒ガスの発生を、カナリアによって検知するという方法もありました。しかし、ガスセンサーが登場したことで置き換わり、現在では特定のガスを検知することで、環境改善や健康維持などに役立てられています。
ここでは、ガスセンサーの特徴や活用事例について紹介します。
ガスセンサーとは有害なガスの検知だけではなく、さまざまな気体を検知することができるセンサーです。ガスセンサーには半導体式・赤外線式・接触燃焼式など、複数の種類があります。
金属酸化物半導体が検知対象ガスと接触した際に生じる抵抗値の変化を、ガス濃度として検知します。ppb低濃度域でも濃度変化が検知でき、長期安定性に優れています。
赤外線を放射した際、試料ガスによって吸収される波長の違いを利用してガスの種類を検出します。ガスの選択性が高く、高濃度・長時間暴露でも感度が変動しません。
ガスの電極反応を電気信号に変換し、電流量を換算することでガス濃度を検知します。高いガス検知精度があり、再現性・安定性に優れているため、人命に係わるような場面で使用されています。
素子とガスの接触燃焼による温度上昇を電気抵抗値の変化として検知し、ガス濃度を測定します。小型化・省電力化ができ、ほとんどの可燃性ガスの測定ができます。
MEMSガスセンサーになったことで小型・量産化できるため、従来は搭載することが困難だった製品にも使用可能となり、さまざまな付加価値を生み出しています。
ガスセンサーの活用領域は非常に広く、産業機器・環境機器・医療機器・自動車の搭載部品などで利用されています。
また、近年ではコロナ対策のため、CO2センサーの設置が推奨されており、特定ガスを選択するフィルターを用いて濃度測定し、罹患者などの健康状態をチェックしています。