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センシングデバイス

圧力計

ミネベアミツミの圧力センサー/圧力計は一般産業用を始め、高精度で耐環境性・温度特性に優れ、圧力媒体とエレメントが直に接している為(直圧式)、高い応答性が必要な実験・検査などの圧力計測にも適合しています。


感度部を構成する材料により、半導体歪ゲージ方式(SOS式)・金属箔ひずみゲージ方式(ひずみゲージ式)の2種類があります。

※ SOS(Silicon On Sapphire)技術とは
 サファイ(Al2O3単結晶)基板上にシリコン薄膜を形成(エピタキシャル成長)させたものです。
  このシリコン薄膜を用いたシリコン半導体ひずみゲージは、電気抵抗線そのものがサファイア基板に原子結合しており、物理的・電気的に極めて安定した理想的なセンサーを構成します。
  H-ⅡAロケットに56台/機(NS800シリーズ)採用されています。

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