MEMS技術を用いた流量センサ。熱フロー式により高精度計測が可能です。24bit分解能の⊿ΣADコンバータを搭載し、高精度な流量値をデジタル値で出力します
| 型式 | 関連データ | 電源電圧範囲 [V] |
動作温度範囲 [℃] |
動作範囲 | 精度 | インターフェース | パッケージサイズ [mm] |
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MEMSの構造、種類、業界別用方法等、MEMSにまつわる技術の基礎知識から活用事例までを学べます。
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世界最小・最軽量クラスのΦ9.6ｘ9mmを実現。ノイズに強いデジタル出力センサー。
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