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半導体センサー

6軸力覚センサー

本製品は、フォース3軸、モーメント3軸の6軸力覚センサです。MEMSチップと金属構造体のハイブリッド構造により6軸検出を行います。モジュール内にAFE ICを内蔵しており、デジタル出力(SPI)されます。マトリクス演算(他軸干渉成分除去)で使用する補正係数はAFE IC内部メモリに格納されており、測定開始直前に読み出すことが可能な為、ユーザー側でセンサと補正係数の管理が不要です。また、モジュール内にはLDOを内蔵している為、低ノイズ化を実現しています。非常に小型で軽量な形状でロボットハンド指先への搭載に最適です。

製品名 関連データ 電源電圧
[V]
動作温度範囲
[℃]
定格荷重
フォース
[N]
定格荷重
モーメント
[N・m]
精度
[%F.S.]
インターフェース パッケージサイズ [mm] 重量
[g]

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  • MEMSの構造、種類、業界別用方法等、MEMSにまつわる技術の基礎知識から活用事例までを学べます。

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  • 世界最小・最軽量クラスのΦ9.6x9mmを実現。ノイズに強いデジタル出力センサー。

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