圧力センサー（あつりょくせんさー）

圧力センサーとは気体や液体の圧力を電気信号として出力するデバイスを指します。圧力センサーから出力された電気信号はユーザーが利用し易い仕様に変換され、圧力計など計測機器として利用されたり、様々な製品に内蔵されたりしています。
圧力センサーには様々な方式のものがあり、用途や使用環境、要求される精度に応じて使い分けられます。

（1）圧力センサーの方式にはいろいろな種類がありますが、多くは圧力で生じる変形による電気的特性の変化を利用して測定します。例えば、圧電式センサー、ストレインゲージ式（ひずみゲージ式）センサー、静電容量式センサー、MEMS圧力センサーなどが代表的です。これらの中から、測定対象の圧力範囲や精度、温度特性などのさまざまな要件に応じて、適した方式を選定しましょう。
ミネベアミツミで扱っているストレインゲージ式（ひずみゲージ式）の圧力センサーは、高精度で耐環境性・温度特性に優れており、高い応答性が必要な実験・検査などの圧力計測にも適合しています。

（2）MEMS圧力センサーとは、圧電素子や静電容量方式の圧力検出機構をシリコンチップ上に形成した圧力センサーです。MEMS圧力センサーは小型で消費電力をおさえることができます。また、わずかな圧力の変化にも素早く反応することができます。測定したデータはアナログで出力するタイプとA/D変換してデジタルで出力するタイプの2種類があり、目的や用途によって使い分けます。ミネベアミツミではゲージ圧を測定する圧電素子型のMEMS圧力センサーを揃えています。

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