概要
MEMS技術を用いた流量センサ。熱フロー式により高精度計測が可能です。24bit分解能の⊿ΣADコンバータを搭載し、高精度な流量値をデジタル値で出力します
用途
空調機器、医療機器（CPAP等）
特徴
MEMS熱フロー式により高精度な流量値を出力可能
主な仕様
| 気体の種類 | 空気、天然ガス（結露無きこと） |
|---|---|
| 電源電圧範囲 [V] |
2.7~3.6 |
| 動作温度範囲 [℃] |
-20~80 |
| 動作範囲 | -250～250[L/m] |
| 消費電流 [μA] |
T.B.D |
| 精度 | ±5%RD(10% to 25%FS), ±3%RD(25% to 100%FS) |
| 分解能 | 24bit |
| 変換時間 [ms] |
5 |
| インターフェース | I2C |
パッケージサイズ [mm]
73 x 24 x 38
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関連データ
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MEMSの構造、種類、業界別用方法等、MEMSにまつわる技術の基礎知識から活用事例までを学べます。
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世界最小・最軽量クラスのΦ9.6ｘ9mmを実現。ノイズに強いデジタル出力センサー。
