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フローセンサー 流量センサー

MMS501

概要

MEMS技術を用いた流量センサ。熱フロー式により高精度計測が可能です。24bit分解能の⊿ΣADコンバータを搭載し、高精度な流量値をデジタル値で出力します

用途

空調機器、医療機器(CPAP等)

特徴

MEMS熱フロー式により高精度な流量値を出力可能

主な仕様

気体の種類 空気、天然ガス(結露無きこと)
電源電圧範囲
[V]
2.7~3.6
動作温度範囲
[℃]
-20~80
動作範囲 -250~250[L/m]
消費電流
[μA]
T.B.D
精度 ±5%RD(10% to 25%FS), ±3%RD(25% to 100%FS)
分解能 24bit
変換時間
[ms]
5
インターフェース I2C

パッケージサイズ [mm]

73 x 24 x 38

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関連データ

  • MEMSの構造、種類、業界別用方法等、MEMSにまつわる技術の基礎知識から活用事例までを学べます。

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  • 世界最小・最軽量クラスのΦ9.6x9mmを実現。ノイズに強いデジタル出力センサー。

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