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フローセンサー 風速センサー

MMS651

概要

MEMS技術を用いた小型風速センサ。16bit分解能の⊿ΣADコンバータを搭載し、高精度な風速値をデジタル値で出力します。

用途

空調機器

特徴

MEMS熱フロー式により高精度計測が可能

主な仕様

気体の種類 空気(結露無きこと)
電源電圧範囲
[V]
2.7~3.6
動作温度範囲
[℃]
-10~60
動作範囲 0~10[m/sec.]
消費電流
[μA]
T.B.D
精度 ±5%RD(1m/s ≦flow velocity≦ 10m/s)
分解能 16bit
変換時間
[ms]
T.B.D
インターフェース I2C

パッケージサイズ [mm]

20 x 17 x 13

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関連データ

  • MEMSの構造、種類、業界別用方法等、MEMSにまつわる技術の基礎知識から活用事例までを学べます。

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  • 世界最小・最軽量クラスのΦ9.6x9mmを実現。ノイズに強いデジタル出力センサー。

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