- ステッピングモーター
アブソエンコーダ搭載モーター 課題解決事例─半導体製造装置編─
薄型×高分解能
「バッテリーレス
アブソリュートエンコーダ」搭載
ハイブリッドステッピングモーターの課題解決事例
独自機構の磁気式エンコーダで原点復帰・センサーが不要に！タクトタイム短縮を実現します。
製品
バッテリーレス・アブソリュートエンコーダ付ステッピングモーター「Mシリーズ」
特長
ハイブリッド型のステッピングモーターに、独自のセンサー機構で薄型を実現したバッテリーレスのアブソリュートエンコーダを搭載したモデルです。
アナログ時計の原理を応用し、非通電時でもバックアップ電源なしで現在位置の保持が可能です。さらに、非常停止時も原点復帰なしに運転再開ができるため、原点復帰に必要な原点センサーやリミットセンサーも削減しながら、タクトタイムの短縮にも貢献します。
「半導体製造装置」での課題解決事例
ありとあらゆるものがネットワークでつながり、電動・自動化が進む中で、より高精度な半導体をより多く、より確実に作ることが求められる半導体製造装置。
なかでも、後工程でICやLSなどの半導体チップを基板に接着するダイボンディング工程を担う装置「ダイボンダー」は高精度な位置決めが求められます。ダイボンダーを例に、バッテリーレス・アブソリュートエンコーダ付ハイブリッドステッピングモーターの課題解決事例をご紹介します。
課題
エラー発生時から再始動までに時間がかかり生産効率が悪い
アプリケーション
基板の厚み測定
課題・問題点
標準型のハイブリッドステッピングモーターに、市販の光学式エンコーダを組み付けて使用していましたが、エラーなどによるチョコ停でモーターへの電源供給が遮断されると、テーブルの現在位置が不明となり、測定を再開するために原点復帰が必要でした。
テーブルが原点センサーまで戻るまでの時間がロスとなり、その分タクトタイムの悪化が発生していました。
解決方法・効果
バッテリーレス・アブソリュートエンコーダ付ステッピングモーターに置き換えることで、電源が遮断されても現在位置を機械的に保持することができ、電源復旧後にアブソリュート出力で現在位置を検出することで、原点復帰なしに再始動できるようになりました。
課題
部品の経年劣化による停止位置ずれが起こり、把持位置の調整が発生している
アプリケーション
ICピックアップ用テーブル駆動
課題・問題点
分解能 200cprの光学式エンコーダ付ステッピングモーター使用していましたが、テーブルの駆動部分につかわれるベアリングのような機械部品の経年劣化による停止位置のわずかなずれが起きると、その誤差を検知できず、ピックアップ時に把持位置の調整が発生していました。
解決方法・効果
高分解能なバッテリーレス・アブソリュートエンコーダ付ステッピングモーターでわずかな位置ずれも早期に発見。把持位置調整によるタクトタイムのロスを削減し、機器の早期保守、メンテナンスを可能にします。
課題
複数のセンサー使用により制御系統が複雑化している
アプリケーション
マガジン搬送駆動
課題・問題点
位置決め制御のため、原点センサーやリミットセンサーなど複数のセンサー使用しているため、部品点数が増えるだけでなく、ドライバーを経由させるモーター配線と、マスターボードに直接配線するセンサー配線が混在し、システム構成が複雑化していました。
解決方法・効果
バッテリーレス・アブソリュートエンコーダ付ステッピングモーターになら、非通電時でも現在位置の把握が可能であるため、位置決め制御はモーターだけで完結。各種原点センサー、リミットセンサーが不要になるため、シンプルなシステム構成になりました。
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