このページの本文へ移動
フローセンサー 差圧センサー

MMS601

概要

MEMS技術を用いた小型差圧センサ。熱フロー式により高精度微小圧力計測が可能です。24bit分解能の⊿ΣADコンバータを搭載し、高精度な圧力値をデジタル値で出力します。

用途

空調機器、医療機器(CPAP等)

特徴

MEMS熱フロー式により微小圧力範囲も高精度な計測が可能

主な仕様

気体の種類 空気(結露無きこと)
電源電圧範囲
[V]
2.7~3.6
動作温度範囲
[℃]
-20~80
動作範囲 -500~500[Pa]、0~250[Pa]、-50~50[Pa]
消費電流
[μA]
T.B.D
精度 0点精度:±0.2Pa, スパン精度:±3%RD
分解能 24bit
変換時間
[ms]
5
インターフェース I2C

パッケージサイズ [mm]

26 x 18 x 24

ダウンロード

関連データ

  • MEMSの構造、種類、業界別用方法等、MEMSにまつわる技術の基礎知識から活用事例までを学べます。

    MEMSの構造、種類、業界別用方法等、MEMSにまつわる技術の基礎知識から活用事例までを学べます。

  • 世界最小・最軽量クラスのΦ9.6x9mmを実現。ノイズに強いデジタル出力センサー。

    世界最小・最軽量クラスのΦ9.6x9mmを実現。ノイズに強いデジタル出力センサー。

ミネベアミツミの技術情報やイベント情報をはじめ、お役立ち情報をお届けします

Page Top

サポート・お問い合わせ
製品に関する各種ご相談は、お気軽にお問い合わせください。