概要
MEMS技術を用いた小型差圧センサ。熱フロー式により高精度微小圧力計測が可能です。24bit分解能の⊿ΣADコンバータを搭載し、高精度な圧力値をデジタル値で出力します。
用途
空調機器、医療機器（CPAP等）
特徴
MEMS熱フロー式により微小圧力範囲も高精度な計測が可能
主な仕様
| 気体の種類 | 空気（結露無きこと） |
|---|---|
| 電源電圧範囲 [V] |
2.7~3.6 |
| 動作温度範囲 [℃] |
-20~80 |
| 動作範囲 | -500～500[Pa]、0～250[Pa]、-50～50[Pa] |
| 消費電流 [μA] |
T.B.D |
| 精度 | ０点精度：±0.2Pa, スパン精度：±3%RD |
| 分解能 | 24bit |
| 変換時間 [ms] |
5 |
| インターフェース | I2C |
パッケージサイズ [mm]
26 x 18 x 24
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関連データ
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MEMSの構造、種類、業界別用方法等、MEMSにまつわる技術の基礎知識から活用事例までを学べます。
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世界最小・最軽量クラスのΦ9.6ｘ9mmを実現。ノイズに強いデジタル出力センサー。
